特許
J-GLOBAL ID：201103000071481100
ウエハ移載装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 茂
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170824
公開番号（公開出願番号）：特開2001-007178
特許番号：特許第4254980号
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第1のウエハ収納ケースに収納された複数のウエハを、押し部材によって平行に移動させ、前記ウエハを一括して第2のウエハ収納ケースに移載するウエハ移載装置において、
前記第1、第2のウエハ収納ケースのウエハ出入口部を互いに対向させて、第1、第2のウエハ収納ケースを載置するウエハ収納ケース載置部を有するベースプレートと、
前記第1のウエハ収納ケースが載置されるベースプレート側端部から第2のウエハ収納ケース方向に向けて摺動可能に設けられ、かつウエハの端縁と当接するウエハ当接部を有するウエハ押し部材と、
前記ウエハ押し部材のウエハ当接部に形成された、水平面と傾斜面からなる複数の溝とを備え、
かつ前記溝の水平面が、当接するウエハの移送面より低位置に形成されていることを特徴とするウエハ移載装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B65G 49/07 ( 200 6.01)
H01L 21/68 D
, B65G 49/07 Z
