ポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-364293
公開番号（公開出願番号）：特開2001-228609
特許番号：特許第4450136号
出願日： 2000年11月30日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】式(1) (式中、繰り返し単位nは3以上1000以下の整数であり、式中R1はジアミンを構成する2価の有機基を示し、R2はシクロブタンテトラカルボン酸及びその二無水物並びにそのジカルボン酸ジ酸ハロゲン化物を構成する4価の有機基を示し、且つ、R1は、そのジアミン成分の1〜90モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基からなる群より選ばれた少なくとも一種以上の基を1個または複数個有し、10〜99モル%がフェノール性水酸基、カルボキシル基、チオフェノール基、スルホン酸基を有しない2価の有機基である。) で示される繰り返し単位を有する溶媒可溶性ポリイミド100重量部に対し、式(2) (式中、繰り返し単位mは3以上1000以下の整数であり、R3はジアミンを構成する2価の有機基であり、R4はシクロブタンテトラカルボン酸及びその二無水物並びにそのジカルボン酸ジ酸ハロゲン化物を構成する4価の有機基を示す。)で示される繰り返し単位を有するポリイミド前駆体を1〜50重量部を含有し、且つ、式(1)で表される繰り返し単位および一般式(2)で表される繰り返し単位の総量100重量部に対し、オルトキノンジアジド化合物を1〜100重量部を含有することを特徴とするポジ型感光性ポリイミド樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/023 ( 200 6.01) , C08G 73/10 ( 200 6.01) , C08K 5/28 ( 200 6.01) , C08L 79/08 ( 200 6.01) , G03F 7/022 ( 200 6.01) , H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (6件)：

G03F 7/023 , C08G 73/10 , C08K 5/28 , C08L 79/08 A , G03F 7/022 , H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (5件)

耐熱性感光性重合体組成物及びパターンの製造法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-246813 出願人：日立化成工業株式会社
特開平3-209478
特開平4-168441

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