特許

J-GLOBAL ID：201103000218389507

四探針抵抗測定装置用管理試料および四探針抵抗測定装置の管理方法

発明者： 佐々木 保
出願人/特許権者： 信越半導体株式会社
代理人 (2件)： 荒船 良男 ,  荒船 博司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-054985
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257876
特許番号：特許第3846207号
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】半導体単結晶片の抵抗率またはシート抵抗の測定に用いる四探針抵抗測定装置が備える第一組の電流用探針および電圧用探針を当接させる第一の金属板からなる導電部材と、第二組の電流用探針および電圧用探針を当接させる第二の金属板からなる導電部材と、を互いに絶縁して配設すると共に、第一および第二の金属板からなる導電部材を所定の抵抗を介して互いに接続して構成したことを特徴とする四探針抵抗測定装置用管理試料。

IPC (2件)：

G01R 27/02 ( 200 6.01) ,  G01R 35/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01R 27/02 R ,  G01R 35/00 J

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 電子素子測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-354920   出願人：横河・ヒューレット・パッカード株式会社