特許

J-GLOBAL ID：201103000476611630

静電容量式センサ

発明者： 森本 英夫 ,  岡田 和廣
出願人/特許権者： ニッタ株式会社 ,  株式会社ワコー
代理人 (1件)： 辻本 一義
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-264145
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091382
特許番号：特許第3380997号
出願日： 1999年09月17日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X軸又はY軸上の二つの固定電極と前記二つの固定電極の間に設けられたZ軸上の固定電極を有する基板と、前記基板の上方に配置され且つ少なくとも固定電極と対向する面が導電性エラストマーにより構成されている弾性変形可能な可動電極板部と、前記可動電極板部を変形させるべくZ軸上に配置された操作部とを具備しており、前記固定電極群と可動電極板郡とから複数の可変静電容量部が構成されている静電容量式センサにおいて、基板又は可動電極板部の対向面のうち少なくともいずれか一方に突起を設けてあると共に前記突起はZ軸上に配置してあり、操作部にZ軸方向の力が作用した場合に、前記突起により可動電極板部の変形量を制限するようにしてあることを特徴とする静電容量式センサ。

IPC (6件)：

G01L 1/14 ,  G01B 7/00 ,  G01B 7/16 ,  G01D 5/24 ,  G01L 5/16 ,  G06F 3/033 330

FI (6件)：

G01L 1/14 A ,  G01B 7/00 K ,  G01L 5/16 ,  G06F 3/033 330 A ,  G01B 7/22 ,  G01D 5/24 B

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 静電容量式力覚センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-247476   出願人：ニッタ株式会社, 株式会社ワコー
• 静電容量式力覚センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-198645   出願人：ニッタ株式会社, 株式会社ワコー