特許

J-GLOBAL ID：201103000830067837

フーリエ変換分光器

発明者： 大森 滋人
出願人/特許権者： コニカミノルタホールディングス株式会社
代理人 (3件)： 佐野 静夫 ,  井上 温 ,  井上 靖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-233127
公開番号（公開出願番号）：特開2011-080854
出願日： 2009年10月07日
公開日（公表日）： 2011年04月21日
要約：

【課題】干渉性の高い基準光源を用いずに移動鏡15の位置を求めることができ、これによって、小型で高分解能のフーリエ変換型の分光器1を実現する。【解決手段】駆動機構21は、共振によって移動鏡15を移動させ、時間経過とともに移動鏡15の位置を周期的に変化させる。この構成において、移動鏡位置算出機構23は、移動鏡15の基準位置X0と変位が最大の位置Xmとの間の位置Xpを検出し、位置Xpよりも変位が大きい位置Xeを外挿法によって算出し、算出した位置Xeを干渉強度測定点に対応する移動鏡15の位置とする。外挿法によって干渉強度測定点に対応する移動鏡15の位置Xeを算出するので、移動鏡15の変位量を大きくして、高分解能の分光器1を実現する場合でも、干渉性の高い基準光源(例えば大型のHe-Neレーザ)を用いることなく、干渉強度測定点に対応する移動鏡15の位置Xeを求めることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

移動鏡および固定鏡と、 前記移動鏡を移動させる駆動機構と、 前記移動鏡および前記固定鏡にて反射される各光を合成してなる干渉光を受光してインターフェログラムを検出する検出器と、 干渉強度測定点に対応する前記移動鏡の位置での前記インターフェログラムをフーリエ変換する演算部とを備えたフーリエ変換分光器であって、 前記干渉強度測定点に対応する前記移動鏡の位置を算出する移動鏡位置算出機構をさらに備え、 前記駆動機構は、共振によって前記移動鏡を移動させることにより、時間経過とともに前記移動鏡の位置を周期的に変化させ、 前記移動鏡位置算出機構は、前記移動鏡の変位がゼロの基準位置X0とその基準位置X0からの変位が最大の位置Xmとの間の位置Xpを検出し、前記位置Xpよりも変位が大きい位置Xeを外挿法によって算出し、その位置Xeを前記干渉強度測定点に対応する前記移動鏡の位置とすることを特徴とするフーリエ変換分光器。

IPC (1件)：

G01J 3/45

FI (1件)：

G01J3/45

Fターム (12件)：

2G020AA03 ,  2G020CA12 ,  2G020CB05 ,  2G020CB23 ,  2G020CB42 ,  2G020CC22 ,  2G020CC55 ,  2G020CD03 ,  2G020CD16 ,  2G020CD22 ,  2G020CD35 ,  2G020CD41

引用特許：

審査官引用 (3件)

• フーリエ分光器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-004116   出願人：横河電機株式会社
• 特開平2-201106
  
• 三次元形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-292911   出願人：アンリツ株式会社, 国立大学法人電気通信大学