特許
J-GLOBAL ID：201103001129716070
画像取得装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
長谷川 芳樹
, 寺崎 史朗
, 石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-210739
公開番号（公開出願番号）：特開2011-059515
出願日： 2009年09月11日
公開日（公表日）： 2011年03月24日
要約：
【課題】 焦点が伸張された観察画像を効率的に取得することが可能な画像取得装置を提供する。【解決手段】 試料Sを載置する試料ステージ10と、2次元画像の取得及びTDI駆動が可能な撮像装置20と、対物レンズ32を含む撮像光学系30と、撮像装置20及び撮像光学系30によって試料Sを走査して観察画像を取得する走査部と、試料Sでの撮像の焦点が光軸方向に振動周波数fsで振動するように試料Sでの焦点の振動を制御する焦点振動制御装置40とによって画像取得装置1Aを構成する。また、焦点振動制御装置40は、撮像装置20におけるTDI駆動での撮像期間Tiの逆数1/Tiを基本周波数として、振動周波数fsが基本周波数のNs倍(Nsは1以上の整数)に略一致するように、振動周波数fsを設定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
撮像対象となる試料を載置するための試料ステージと、
第1の方向を長手方向とする2次元画像の取得及びTDI駆動が可能な撮像装置と、
前記試料ステージと前記撮像装置との間に配置された対物レンズを含む撮像光学系と、
前記試料を前記第1の方向とは異なる第2の方向に走査しながら前記撮像装置及び前記撮像光学系によって観察画像を取得するための走査手段と、
前記撮像光学系によって設定される前記試料での撮像の焦点が、前記試料に対して光軸方向に所定の振動周波数fsで振動するように、前記試料での焦点の振動を制御する焦点振動制御手段とを備え、
前記焦点振動制御手段は、前記撮像装置におけるTDI駆動での電荷転送速度及び転送画素数によって決まる撮像期間Tiに対し、前記撮像期間の逆数1/Tiを基本周波数として、前記振動周波数fsが前記基本周波数のNs倍(Nsは1以上の整数)に所定範囲内で一致するように、前記振動周波数fsを設定することを特徴とする画像取得装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (8件)：
2H052AB05
, 2H052AC05
, 2H052AD07
, 2H052AD20
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
