特許
J-GLOBAL ID：201103001296326372
ウエハコーティング装置締付リング曲がり防止方法および装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 吉田 裕
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-592861
特許番号：特許第3834478号
出願日： 1999年12月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 スパッタリングシステムであって、モリブデンの熱膨張係数と実質的に等しい熱膨張係数を備えたコーティング材料から成るスパッタリング対象物と、一体片のモリブデンで形成されたウエハ締付リングを備えるウエハホルダと、このウエハ締付リングが、リムの周りに薄膜を堆積すべきウエハの側をウエハ締付リングの内側縁部に係合させるように構成され、ウエハ周囲のまわりの複数点において該ウエハを外れ止めしてウエハ締付リングに支持するための手段を有することと、ウエハ締付リングを処理室内で、該ウエハ締付リングまわりの間隔を置いた複数の取り付け点で弾性状に支持するための手段とを含み、
前記ウエハ締付リングが、
内側ウエハ係合縁部を境界とした該ウエハ締付リング内のほぼ円形の開口と、処理室側と、ウエハ係合側とを備えるとともに、
3つの枢動ラッチを該ウエハ締付リングのウエハ係合側に等しい角度間隔で配置し取り付けるための手段であって、ウエハ締付リングのウエハ係合側で前記内側ウエハ係合縁部に隣接して該ウエハ締付リングのまわりに等しい角度間隔で隔置した3つのラッチ取付穴および戻り止めの組み合わせを含み、各組み合わせが、ウエハ締付リングのウエハ係合側で該ウエハ締付リングの表面を貫いて延びてラッチを支持するようになったラッチ取付穴と、ウエハ締付リングのウエハ係合側の表面の複数のラッチローラ受けくぼみとを含み、これらくぼみが前記ラッチ取付穴から等しい距離を隔置され、約90度の角度をもって隔置され、ラッチをラッチ位置および非ラッチ位置に保持するようになった手段と、
ウエハ締付リングが該ウエハ締付リングの中心のまわりで一様に該ウエハ締付リングのウエハ係合側へ向けて片寄せられるようにウエハ締付リングの取り付けを容易にするための手段で、該ウエハ締付リングのまわりに等しい角度間隔で配置された、前記表面の3つのコイルバネ取付穴と、該ウエハ締付リングのまわりに等しい角度間隔で配置され、各々が前記コイルバネ取付穴のうちの隣接した穴の間に中心を置く、前記表面の3つの板バネ取付穴とを含み、これら穴の各々が各自のバネを接続するようになっている手段とを含む、スパッタリングシステム。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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