特許
J-GLOBAL ID：201103001300184197
縦型加熱装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北條 和由
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-331010
特許番号：特許第3112672号
出願日： 1999年11月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 加熱処理される加熱物が収納され、外部側がほぼ室温となった容器(1)と、この容器(1)に収納され、その内部の加熱物を周囲から加熱するヒータ(12)と、容器(1)に収納され、その内部の加熱物を外部に対して断熱または遮熱する断熱部材(7)とを有する縦型加熱装置において、少なくとも断熱部材(7)、(7’)、(10)、(10’)、(10”)の一部を、加熱物を覆った状態と開放した状態との間で移動自在に配置し、さらに容器(1)の内壁に、輻射率を高める表面処理を施したことを特徴とする縦型加熱装置。
IPC (4件)：
H01L 21/22 511
, F27B 1/10
, F27B 5/14
, H01L 21/205
H01L 21/22 511 A
, F27B 1/10
, F27B 5/14
, H01L 21/205
