特許
J-GLOBAL ID：201103001353696360
インクジェットヘッドの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
前田 弘
, 小山 廣毅
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-236672
公開番号（公開出願番号）：特開2000-141643
特許番号：特許第4283948号
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2000年05月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】基板上に、個別電極をスパッタ法を用いて形成する工程と、
上記個別電極上に、圧電素子をスパッタ法を用いて形成する工程と、
上記圧電素子上に、スパッタ法を用いて、該圧電素子よりも熱膨張係数が大きい振動板を、その初期応力が圧縮力となるように形成する工程と、
上記振動板上に、圧力室用開口を有する圧力室部品を取り付ける工程と、
上記基板を除去する工程と、
を有し、
上記基板の除去によって、上記振動板と上記圧電素子との熱膨張係数の差により、上記振動板を上記圧力室部品の圧力室用開口に対して反対側へ凸状に湾曲させ、これに伴い、上記圧電素子を上記圧力室部品の圧力室用開口に対して反対側へ凸状に湾曲させる、
ことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
IPC (3件)：
B41J 2/045 ( 200 6.01)
, B41J 2/055 ( 200 6.01)
, B41J 2/16 ( 200 6.01)
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (8件)
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