特許
J-GLOBAL ID：201103001872896910

共焦点光スキャナ

発明者：
山宮 広之

山宮 広之 について


出願人/特許権者：
横河電機株式会社

横河電機株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-088582
公開番号（公開出願番号）：特開2011-221170
出願日： 2010年04月07日
公開日（公表日）： 2011年11月04日
要約：
【課題】光軸を傾ける必要が無く組立調整が容易な共焦点光スキャナを実現する。【解決手段】複数のマイクロレンズとピンホールが同一パターンでそれぞれアレイ状に配置され一体化されたマイクロレンズディスク1およびニポウディスク2と、これら2枚のディスクを回転する回転手段3と、前記2枚のディスクの間に挿入されたビームスプリッタ7を備え、前記ディスクを回転させ、前記ピンホ-ルディスクを通過した照射光を試料に対して走査する共焦点光スキャナにおいて、前記ビームスプリッタは、斜面同士が空隙を介して対向する2個の直角プリズムと、少なくともいずれかの一方の前記直角プリズムの斜面であって前記空隙との境界に形成されるビームスプリッタ膜を、備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
複数のマイクロレンズとピンホールが同一パターンでそれぞれアレイ状に配置され一体化されたマイクロレンズディスクおよびニポウディスクと、これら2枚のディスクを回転する回転手段と、前記2枚のディスクの間に挿入されたビームスプリッタを備え、前記ディスクを回転させ、前記ピンホ-ルディスクを通過した照射光を試料に対して走査する共焦点光スキャナにおいて、 前記ビームスプリッタは、 斜面同士が空隙を介して対向する2個の直角プリズムと、 少なくともいずれかの一方の前記直角プリズムの斜面であって前記空隙との境界に形成されるビームスプリッタ膜を、備えることを特徴とする共焦点光スキャナ。
IPC (2件)：
G02B 21/00 ,  G01N 21/64
FI (2件)：
G02B21/00 ,  G01N21/64 E
Fターム (13件)：
2G043AA03 ,  2G043EA01 ,  2G043HA01 ,  2G043HA09 ,  2G043KA09 ,  2G043LA03 ,  2H052AA08 ,  2H052AA09 ,  2H052AC15 ,  2H052AC29 ,  2H052AD34 ,  2H052AF14 ,  2H052AF25
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特許第2663780号
  • プリズム型光学素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-067439   出願人：株式会社ニコン
  • 特開平1-321401
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