特許

J-GLOBAL ID：201103002243926056

マイナス粒子発生装置

発明者： 縄間 潤一 ,  口野 邦和 ,  守屋 好文
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-296865
特許番号：特許第3322266号
出願日： 2001年09月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 光電子発生材と、前記光電子発生材に紫外線を照射する光源とを有し、前記光電子発生材に紫外線を照射すると共に、前記光電子発生材に空気を流すことでマイナス粒子を発生させるマイナス粒子発生装置において、前記光源を間欠運転させることで、前記光電子発生材に紫外線を間欠的に照射することを特徴とするマイナス粒子発生装置。

IPC (6件)：

B03C 3/40 ,  A61L 9/22 ,  B03C 3/02 ,  B03C 3/36 ,  B03C 3/38 ,  B03C 3/66

FI (6件)：

B03C 3/40 C ,  A61L 9/22 ,  B03C 3/02 A ,  B03C 3/36 Z ,  B03C 3/38 ,  B03C 3/66

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-042057
  
• 膜厚測定方法および膜厚測定装置ならびに成膜装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-074748   出願人：松下電器産業株式会社