セラミック接合体とその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：木下茂 , 高雄次郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-174585
公開番号（公開出願番号）：特開2001-010872
特許番号：特許第3688156号
出願日： 1999年06月21日
公開日（公表日）： 2001年01月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】片面に周面を外方へ拡開した表面粗さRa=0.2〜1.0μm、Rmax=2〜8μmのテーパー面とする凹部が形成され、粒界成分が酸化イットリウムアルミニウム相のAlN焼結体からなる板と、その凹部のテーパー面と係合可能な表面粗さRa=0.2〜1.0μm、Rmax=2〜8μmのテーパー面が一端部の外周に形成され、上記板と同様のAlN焼結体からなる管又は棒とが、両テーパー面間に、AlN粉末100重量部に対し、Y2O3換算でY化合物粉末の添加量が0.5〜30重量部であり、AlNと酸化イットリウムアルミニウムを主成分とする接合剤層を介在して接合されていることを特徴とするセラミック接合体。

IPC (2件)：