平板型酸素センサおよびその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-385095
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185622
特許番号：特許第3752452号
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】セラミック製母基板と、長手方向に溝が形成されたセラミック製略U字状基板と、セラミック固体電解質からなり対向する内外表面に一対の電極が形成されたセンサ基板とを積層一体化し、前記母基板の上面と、前記略U字状基板の溝内壁と、前記センサ基板の下面とによって、一端が封止された大気導入孔を形成してなる平板型酸素センサにおいて、前記溝に対向する前記センサ基板の下面が溝側に突出しており、前記センサ基板下面と前記略U字状基板における溝内壁とが成す角度θが50〜88°であることを特徴とする平板型酸素センサ。

IPC (1件)：