特許
J-GLOBAL ID:201103002622022245
低誘電樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
大谷 保
, 東平 正道
, 片岡 誠
, 平澤 賢一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2009-165257
公開番号(公開出願番号):特開2011-021068
出願日: 2009年07月14日
公開日(公表日): 2011年02月03日
要約:
【課題】十分に低い誘電率、誘電正接を有する低誘電樹脂組成物、該低誘電樹脂組成物からなる低誘電膜、低誘電樹脂組成物及び低誘電膜の製造方法、並びに低誘電膜用コーティング剤を提供する。【解決手段】(1)平均粒子径が0.05〜1μmで、粒子全体の80質量%以上が平均粒子径±30%以内の粒子径を有し、かつBET比表面積が30m2/g未満である中空シリカ粒子が、マトリクス樹脂中に分散されてなる低誘電樹脂組成物、(2)その低誘電樹脂組成物からなる低誘電膜、(3)粒子内部に空気を含有する中空シリカ粒子(A)、又は焼成により消失して中空部位を形成する材料を内包するコアシェル型シリカ粒子(B)を調製し、950°Cを超える温度で焼成して、中空シリカ粒子(C)を調製し、それをマトリクス樹脂形成材中に分散させた分散液を調製する工程を含む低誘電樹脂組成物の製造方法、及び(4)前記中空シリカ粒子がマトリクス樹脂形成材中に分散されてなる低誘電膜用コーティング剤である。【選択図】なし
請求項(抜粋):
平均粒子径が0.05〜1μmで、粒子全体の80質量%以上が平均粒子径±30%以内の粒子径を有し、かつBET比表面積が30m2/g未満である中空シリカ粒子が、マトリクス樹脂中に分散されてなる低誘電樹脂組成物。
IPC (7件):
C08L 101/00
, C08K 7/26
, H01B 3/30
, H01B 3/00
, C09D 5/25
, C09D 7/12
, C09D 201/00
FI (9件):
C08L101/00
, C08K7/26
, H01B3/30 N
, H01B3/30 M
, H01B3/30 Q
, H01B3/00 A
, C09D5/25
, C09D7/12
, C09D201/00
Fターム (76件):
4J002BB011
, 4J002BB031
, 4J002BB111
, 4J002BB171
, 4J002BB231
, 4J002BC021
, 4J002BC031
, 4J002BC061
, 4J002BD031
, 4J002BD101
, 4J002BD121
, 4J002BD141
, 4J002BD151
, 4J002BE021
, 4J002BF031
, 4J002BF051
, 4J002BG051
, 4J002BN151
, 4J002BP011
, 4J002CB001
, 4J002CC031
, 4J002CC161
, 4J002CC181
, 4J002CD021
, 4J002CD041
, 4J002CD051
, 4J002CD061
, 4J002CD081
, 4J002CD131
, 4J002CF001
, 4J002CF061
, 4J002CF071
, 4J002CF191
, 4J002CF211
, 4J002CG001
, 4J002CH091
, 4J002CK021
, 4J002CL001
, 4J002CM041
, 4J002CN011
, 4J002CN031
, 4J002CP031
, 4J002DJ016
, 4J002FA106
, 4J002FD016
, 4J002GH01
, 4J002GQ01
, 4J002GQ05
, 4J038DB061
, 4J038DJ021
, 4J038HA446
, 4J038JB32
, 4J038KA03
, 4J038KA04
, 4J038KA08
, 4J038KA12
, 4J038KA21
, 4J038MA14
, 4J038NA21
, 4J038PB09
, 5G303AA07
, 5G303AB05
, 5G303BA12
, 5G303CA09
, 5G303CB30
, 5G303DA02
, 5G305AA11
, 5G305AB10
, 5G305BA09
, 5G305BA15
, 5G305CA15
, 5G305CA21
, 5G305CC02
, 5G305CD09
, 5G305CD13
, 5G305DA22
引用特許:
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