特許
J-GLOBAL ID：201103003064060760
結晶体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-109661
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302590
特許番号：特許第4484268号
出願日： 1999年04月16日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 黒鉛ルツボ内に収容された石英ルツボに充填された初期チャージ重量が溶かされて生成されたメルトから結晶体を成長させるCZ法で結晶体を製造する方法において、
標準石英ルツボと使用石英ルツボの重量差に基づいて両者の肉厚差を概算し、この概算した肉厚差を用いて前記標準石英ルツボの形状データを補正し、補正データに基づいて初期メルト深さ、ルツボ内径、を算出する工程を持つことを特徴とする結晶体の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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