試料解析装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-050294
公開番号（公開出願番号）：特開2001-201468
特許番号：特許第3593651号
出願日： 2000年01月21日
公開日（公表日）： 2001年07月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料に対してX線を照射するX線発生器と、それぞれの一端側開口部が試料のX線照射点を頂点とする円錐面に沿って配列されていて試料からの信号X線を入射し、他端側開口部は入射した信号X線を前記X線発生器とX線照射点を結ぶ照射軸の周囲に出射させるよう配列された多数本のX線導波細管を組み合わせたX線導波細管体と、このX線導波細管体から出射される信号X線を検出するX線検出器とを備え、X線検出器からの出力信号にて試料を解析するようにしたことを特徴とする試料解析装置。

IPC (1件)：