放射線硬化性粘着剤組成物、それを用いたダイシング用粘着フィルム、及び切断片の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：宮崎栄二 , 原田智裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-243161
公開番号（公開出願番号）：特開2011-089009
出願日： 2009年10月22日
公開日（公表日）： 2011年05月06日
要約：

【課題】ダイシング工程においては高い粘着力を有し半導体素子などの切断片の脱離飛散が抑えられるとともに、ピックアップ工程においては活性面を有する被加工物に対しても優れた軽剥離性を有する粘着剤層を備えたダイシング用粘着フィルムを提供する。【解決手段】ダイシング用粘着フィルムの粘着剤層に、9.6(cal/cm3)1/2以上、10.0(cal/cm3)1/2以下の溶解度パラメータを有するベースポリマーと、放射線反応性炭素-炭素二重結合を有する放射線反応性化合物とを反応させて得られる(メタ)アクリル系ポリマーを含有する放射線硬化性粘着剤組成物を用いる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

側鎖及び/または末端に放射線反応性炭素-炭素二重結合を有する(メタ)アクリル系ポリマーを含有する放射線硬化性粘着剤組成物であって、前記(メタ)アクリル系ポリマーを構成するベースポリマーは、9.6(cal/cm3)1/2以上、10.0(cal/cm3)1/2以下の溶解度パラメータを有する放射線硬化性粘着剤組成物。

IPC (4件)：

C09J 155/00 , H01L 21/301 , C09J 11/04 , C09J 7/02

FI (6件)：

C09J155/00 , H01L21/78 Q , H01L21/78 Y , H01L21/78 M , C09J11/04 , C09J7/02 Z

Fターム (19件)：

4J004AA10 , 4J004AA17 , 4J004AB01 , 4J004AB07 , 4J004CB03 , 4J004CC02 , 4J004FA04 , 4J004FA08 , 4J040FA231 , 4J040GA01 , 4J040JB08 , 4J040JB09 , 4J040KA13 , 4J040KA16 , 4J040MA02 , 4J040MA10 , 4J040MB03 , 4J040NA19 , 4J040NA20

引用特許：

審査官引用 (1件)

ダイシング・ダイボンドフィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-036010 出願人：日東電工株式会社

前のページに戻る