特許
J-GLOBAL ID：201103004116178868
空気流量計
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
春日 讓
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-581064
特許番号：特許第4101518号
出願日： 2000年05月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】絶縁膜が形成された半導体基板と、この半導体基板の薄肉部であって上記絶縁膜の上に形成された抵抗体と、上記半導体基板の上記薄肉部よりも肉厚の厚い厚肉部に形成された複数の電極と、上記抵抗体の両端のそれぞれに電気的に接続するように形成された第1引出導体とを有する空気流量センサと、
上記半導体基板の上記厚肉部が接着剤で接着された支持部材と、
上記抵抗体に流れる電流を制御する制御回路と、
を備え、
上記抵抗体を用いて空気流量を検出する空気流量計において、
上記抵抗体の両端のそれぞれに電気的に接続された電極のそれぞれから上記半導体基板の外周端まで延びて形成されたエージング処理用の第2引出導体を備え、
上記抵抗体の両端のそれぞれに電気的に接続された電極のそれぞれに接続された上記第2の引出導体の内、一方の引出導体が、上記電極と上記半導体基板の外周端との間に断線部を有することを特徴とする空気流量計。
IPC (4件)：
G01F 1/692 ( 200 6.01)
, F02D 45/00 ( 200 6.01)
, G01L 9/04 ( 200 6.01)
, G01P 15/12 ( 200 6.01)
G01F 1/68 104 A
, G01F 1/68 104 C
, F02D 45/00 366 B
, G01L 9/04
, G01P 15/12
