微小位置決めアクチュエータ、薄膜磁気ヘッド素子の位置決め用アクチュエータ及び該アクチュエータを備えたヘッドサスペンションアセンブリ

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山本恵一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-296597
公開番号（公開出願番号）：特開2001-118348
特許番号：特許第3702727号
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】位置決めする対象物と支持機構との間に固着して前記対象物の位置決めを行うための、圧電現象を利用したアクチュエータであって、当該アクチュエータの固着部及び電極部を除く少なくとも一部表面が自己潤滑性を有する被覆材料で構成された被覆膜によって覆われていることを特徴とする微小位置決めアクチュエータ。

IPC (3件)：