特許
J-GLOBAL ID：201103004216807102
電子顕微鏡装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-097823
公開番号（公開出願番号）：特開2000-294184
特許番号：特許第3268445号
出願日： 1999年04月05日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子ビームを発生する電子銃と、発生した電子ビームを観察すべき試料に対してホローコーン照射する手段と、試料で散乱した荷電粒子を結像して試料像を形成する対物レンズと、ホローコーン照射する際、対物レンズのフォーカスを順次変化させる手段と、対物レンズのフォーカスの変化に応じて順次試料像を撮像する撮像装置と、前記対物レンズと撮像装置との間に配置され、対物レンズのデフォーカス量に応じて試料像を光軸と直交する面内で変位させる手段と、デフォーカス量と重み付け量との関係を規定した重み付け関数を用い、一連のフォーカス状態の試料像について重み付け関数に応じて重み付け因子を乗算する手段と、重み付けされた複数の画像を加算して荷重積算された試料像を形成する手段とを具えることを特徴とする電子顕微鏡装置。
IPC (3件)：
H01J 37/153
, H01J 37/22 501
, H01J 37/26
H01J 37/153 A
, H01J 37/22 501 A
, H01J 37/26
