多孔質炭化珪素焼結体

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-083829
公開番号（公開出願番号）：特開2000-272969
特許番号：特許第4294148号
出願日： 1999年03月26日
公開日（公表日）： 2000年10月03日
請求項（抜粋）：

【請求項1】平均粒径の異なる2種以上の炭化珪素粉末を原料として顆粒を作製する造粒工程と、前記顆粒に水を所定量添加し、顆粒の含水率を0.3重量%〜0.9重量%に調整する含水率調整工程と、前記含水率調整した顆粒を用い、0.6t/cm2〜1.3t/cm2にてプレスして所定形状の成形体を作製するプレス成形工程と、前記成形体を2200°C〜2300°Cに加熱して焼結させる焼成工程と、を経て製造され、気孔率が25%〜50%、気孔径が5μm〜20μmかつ熱伝導率が85W/mK以上である多孔質炭化珪素焼結体。

IPC (2件)：