特許
J-GLOBAL ID:201103005769477590
光走査装置の製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
山本 尚
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-083128
公開番号(公開出願番号):特開2011-215354
出願日: 2010年03月31日
公開日(公表日): 2011年10月27日
要約:
【課題】振動ミラーの共振周波数のばらつきを防止し、個別に共振周波数を高精度に調整することが可能な光走査装置の製造方法を提供すること。【解決手段】ウエイト量決定装置のカメラにより金属構造体20を平面視で撮影して、画像から所定の画像処理により捩り梁11の画像を切り出し、ウエイト量決定装置のCPUが所定の画像処理プログラムを実行することにより梁幅を測定する。ウエイト量決定装置のCPUがHDDのウエイト量テーブル記憶エリアに記憶されているウエイト量テーブルを参照して、測定した捩り梁の梁幅から塗布するウエイトの量を決定する。ウエイト量決定装置のCPUが、測定された梁幅に基づいて、ウエイト量テーブルを各々参照して、ディスプレイに一例として、「梁結合部:0.1mm3」や「ミラー裏:0.01mm3 」と表示する。その後、ウエイト40が梁結合部6又はミラー5の裏面に塗布される。【選択図】図8
請求項(抜粋):
板材から形成された構造体に捻れ梁部を形成し、当該捻れ梁部により支持されたミラー部を前記構造体に接着された圧電素子により揺動させて光走査を行う光走査装置の製造方法であって、
前記構造体上で前記圧電素子の板材が接着される箇所に接着剤を塗布する接着剤塗布工程と、
前記ミラー部の振動周波数の調整用のウエイトの塗布を行うウエイト塗布工程と、
前記接着剤塗布工程で接着剤が塗布された構造体上の所定位置に、前記圧電素子の板材をマウントするマウント工程と、
当該マウント工程で圧電素子の板材がマウントされた構造体と当該圧電素子の板材とを圧着する圧着工程と
を行うことを特徴とする光走査装置の製造方法。
IPC (4件):
G02B 26/10
, G02B 26/08
, H04N 1/113
, B81C 3/00
FI (4件):
G02B26/10 104Z
, G02B26/08 E
, H04N1/04 104Z
, B81C3/00
Fターム (32件):
2H045AB06
, 2H045AB73
, 2H045AB81
, 2H141MA12
, 2H141MB24
, 2H141MC09
, 2H141MD12
, 2H141MD16
, 2H141MD20
, 2H141MD24
, 2H141MD38
, 2H141MF02
, 2H141MG06
, 2H141MZ03
, 2H141MZ06
, 2H141MZ18
, 2H141MZ22
, 3C081AA19
, 3C081BA28
, 3C081BA44
, 3C081BA46
, 3C081BA47
, 3C081BA55
, 3C081CA32
, 3C081CA44
, 3C081EA08
, 5C072AA03
, 5C072BA04
, 5C072DA23
, 5C072HA14
, 5C072XA05
, 5C072XA10
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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