特許
J-GLOBAL ID:200903051537876769

振動素子、振動素子の製造方法、光走査装置、画像形成装置及び画像表示装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松尾 憲一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-095527
公開番号(公開出願番号):特開2007-271788
出願日: 2006年03月30日
公開日(公表日): 2007年10月18日
要約:
【課題】アクチュエータとの接着性を向上させることが可能な構成を備えた振動素子の提供。【解決手段】振動部19aを振動可能に支持した基板31に設けられ振動部19aを振動させる駆動層30を有し、駆動層30が、基板31側に接着される接着層32を有する振動素子300において、基板31と駆動層30との間に位置している中間層33を有し、中間層33は、基板31に対しては表面活性化接合が可能な材質を用い、接着層32に対しては基板31側のそれよりも表面粗さが粗くされることでアンカー効果が得やすい材質が用いられる。【選択図】図2
請求項(抜粋):
振動部を振動可能に支持した基板に設けられ前記振動部を振動させる駆動層を有し、 前記駆動層が、前記基板側に接着される接着層を有する振動素子において、 前記基板と前記駆動層との間に位置し、その一方の面が前記基板の一方の面と接合するともに、その他方の面が前記接着層の一方の面と接合している中間層を有する振動素子。
IPC (6件):
G02B 26/10 ,  G02B 27/02 ,  B81B 3/00 ,  B81C 1/00 ,  H04N 1/036 ,  G02B 26/08
FI (6件):
G02B26/10 104Z ,  G02B27/02 Z ,  B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  H04N1/036 Z ,  G02B26/08 E
Fターム (23件):
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ08 ,  2H045AB10 ,  2H045AB62 ,  2H045AB73 ,  2H045AB81 ,  2H045BA13 ,  2H045DA31 ,  2H199CA06 ,  2H199CA34 ,  2H199CA44 ,  2H199CA82 ,  5C051AA02 ,  5C051CA07 ,  5C051DB02 ,  5C051DB24 ,  5C051DB30 ,  5C051DC04 ,  5C051DC05 ,  5C051DC07 ,  5C051DD02
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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