特許
J-GLOBAL ID：201103005772051919
クロロシラン精製用フィルター装置、クロロシラン精製装置及び精製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-216021
公開番号（公開出願番号）：特開2011-063480
出願日： 2009年09月17日
公開日（公表日）： 2011年03月31日
要約：
【課題】塩化反応炉で生成したクロロシランを含むガスの中から塩化アルミニウムを効率的に分離除去することを目的とし、そのための金属シリコン微粉等除去用のフィルター装置、そのフィルター装置を通過した後のガス中のクロロシランを精製する装置及び方法を提供する。【解決手段】金属シリコンと塩化水素の反応により生成されたクロロシランを含むガス中のダストを除去するためのフィルター装置2であって、クロロシランを含むガスを通過させるケーシング11の内部に、ポリテトラフルオロエチレンの織物を用いたフィルター又はポリテトラフルオロエチレンを連続多孔質体としてなるメンブレン状のフィルター12が設けられるとともに、ケーシング11の壁を加熱するケーシング加熱手段17が設けられている。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
金属シリコンと塩化水素の反応により生成されたクロロシランを含むガス中のダストを除去するためのフィルター装置であって、前記クロロシランを含むガスを通過させるケーシングの内部に、ポリテトラフルオロエチレンの織物を用いたフィルター又はポリテトラフルオロエチレンを連続多孔質体としてなるメンブレン状のフィルターが設けられるとともに、前記ケーシングの壁を加熱するケーシング加熱手段が設けられていることを特徴とするフィルター装置。
IPC (3件)：
C01B 33/107
, B01D 71/36
, B01D 39/08
C01B33/107 B
, B01D71/36
, B01D39/08 Z
4D006GA44
, 4D006HA27
, 4D006HA28
, 4D006JA25A
, 4D006JA51Z
, 4D006KA72
, 4D006KB12
, 4D006MA02
, 4D006MC30X
, 4D006PA01
, 4D006PB20
, 4D019AA01
, 4D019BA13
, 4D019BB02
, 4D019BB08
, 4D019CA03
, 4D019CB02
, 4D019CB04
, 4G072AA11
, 4G072GG03
, 4G072GG04
, 4G072MM08
, 4G072MM22
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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