特許
J-GLOBAL ID：201103006246144690
走査トンネル顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男 (外1名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平1-017634
公開番号（公開出願番号）：特開平2-199757
特許番号：特許第2810077号
出願日： 1989年01月30日
公開日（公表日）： 1990年08月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】チツプから試料、もしくは試料からチツプに流れるトンネル電子流が、チツプと試料の距離に大きく依存することを利用して、試料表面状態を原子レベルで観察する走査トンネル顕微鏡において、上記トンネル電子流によつて試料、もしくはチツプから放出される光の偏光度を検出し、この偏光度を画像信号として像を得ることを特徴とする走査トンネル顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01R 33/10
, H01J 37/28
G01N 37/00 B
, G01B 7/34 Z
, G01R 33/10
, H01J 37/28 X
