単結晶引き上げ装置用保温筒及び単結晶引き上げ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人広江アソシエイツ特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-127108
公開番号（公開出願番号）：特開2000-319090
特許番号：特許第4673459号
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】単結晶引き上げ装置内のルツボを加熱するヒータとこのヒータからの熱が外部に移動しないようにするための断熱材との間に配置されて、当該単結晶引き上げ装置内の保温を行う保温筒であって、この筒壁内は径方向に厚み2.0mm〜0.1mmであり、室温でのヤング率が300kg/mm2〜1200kg/mm2、かつ室温から1000°Cにおける平均熱膨張係数が2.5〜5.0×10-6/°Cである炭素材料としてのC/Cコンポジットからなり、その表面の一部又は全部に熱分解炭素からなる被膜を形成した板材を湾曲させて形成したことを特徴とする単結晶引き上げ装置用保温筒。

IPC (2件)：