特許
J-GLOBAL ID:201103006866710530
テストガス漏洩検出機
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件):
矢野 敏雄
, 山崎 利臣
, 久野 琢也
, アインゼル・フェリックス=ラインハルト
, ラインハルト・アインゼル
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-596347
特許番号:特許第4382291号
出願日: 1999年11月18日
請求項(抜粋):
【請求項1】 テストガス漏洩検出機(1)であって、前真空ポンプおよび高真空ポンプ、テストガス検出器、電気的構成部材である供給および測定装置と、テスト室(2)とを備えた形式のものにおいて、
テスト室(2)と、供給および測定装置とが1つの構成ユニットにまとめられており、テスト室(2)がケーシング(3)上で支持されており、ケーシング(3)内に供給および測定装置が設けられており、供給および測定装置の熱的安定性の低い構成部材に、空気冷却装置が対応配置されており、ケーシング(3)内に、上下に配置された2つの室(21,22)が形成されており、これらの室(21,22)に、それぞれ空気冷却装置(29もしくは41)が対応配置されており、下側の室(21)内に少なくとも1つの前真空ポンプ(23)が設けられており、上側の室(22)内に熱的安定性の低い構成部材が設けられていることを特徴とする、テストガス漏洩検出機。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
出願人引用 (4件)
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密封体の漏れ検査方法および装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-346832
出願人:帝人製機株式会社
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特開平4-213037
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真空ポンプの冷却装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-216892
出願人:株式会社日立製作所
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特表平9-611330
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審査官引用 (4件)