特許

J-GLOBAL ID：201103007101479631

基板搬送装置および露光装置

発明者： 中里 博
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 西山 恵三 ,  内尾 裕一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134129
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323553
特許番号：特許第4343326号
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】基板搬送装置において、 基板温調プレートを有し、コータデベロッパーハンドによって搬送された基板の温度を前記基板温調プレートにより調整する基板搬入ステーションと、 フィンガーを有し、前記基板搬入ステーションで温度調整された前記基板を前記フィンガーにより取り上げ、露光ステージへ搬送するハンドアームと、を備え、 前記基板温調プレートは、前記フィンガーが前記基板温調プレートに対して干渉せずに上下駆動できるように切り欠き部が形成された内形をしているとともに、前記コータデベロッパーハンドが前記基板温調プレートに対して干渉せずに上下駆動できるような外形をしていることを特徴とする基板搬送装置。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)

FI (4件)：

H01L 21/68 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 H ,  H01L 21/30 502 J

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-312538   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-232008   出願人：株式会社ニコン