特許
J-GLOBAL ID：201103007135002362

スパッタリング用ターゲット及び透明導電ガラス並びに透明導電フィルム

発明者：
井上 一吉

井上 一吉 について


出願人/特許権者：
出光興産株式会社

出光興産株式会社 について


代理人 (2件)： 大谷 保 ,  東平 正道
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058385
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256838
特許番号：特許第4230594号
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 酸化インジウム、酸化錫および酸化亜鉛から選択される1種または2種以上の金属酸化物からなり、該金属酸化物中のナトリウム含有量が5重量ppm以下である焼結体からなるスパッタリング用ターゲットであって、酸化インジウム、酸化錫および酸化亜鉛から選択される1種または2種以上の金属酸化物の原料粉末に、ナトリウム含有量が30重量ppm以下のポリビニルアルコールを添加混合し、造粒成形し、焼結して得られた焼結体を切削加工して得られたスパッタリング用ターゲット。
IPC (4件)：
C23C 14/34 ( 200 6.01) ,  C04B 35/00 ( 200 6.01) ,  C23C 14/08 ( 200 6.01) ,  H01B 5/14 ( 200 6.01)
FI (4件)：
C23C 14/34 A ,  C04B 35/00 H ,  C23C 14/08 D ,  H01B 5/14 A
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (3件)

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