特許
J-GLOBAL ID：201103007496871420
置換フェニルエチレン前駆体およびその合成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-221782
公開番号（公開出願番号）：特開2000-239213
特許番号：特許第3865187号
出願日： 1999年08月04日
公開日（公表日）： 2000年09月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】選択された表面に銅(Cu)を化学蒸着(CVD)により堆積するための揮発性の銅(Cu)前駆体であって、該前駆体は、
Cu+1(ヘキサフルオロアセチルアセトネート)と、
以下の式を有する置換フェニルエチレンリガンドであって、
(C6H5)(R1)C=C(R2)(R3)
ここで、R1が、C1〜C6アルキルからなる第1の群から選択され、R2およびR3が、H、およびC1〜C6アルキルからなる群から選択される、置換フェニルエチレンリガンドとが配位結合しているCu前駆体。
IPC (5件)：
C07C 49/16 ( 200 6.01)
, C07C 15/44 ( 200 6.01)
, C23C 16/18 ( 200 6.01)
, H01L 21/285 ( 200 6.01)
, C07F 1/08 ( 200 6.01)
C07C 49/16
, C07C 15/44
, C23C 16/18
, H01L 21/285 C
, C07F 1/08 B
