特許

J-GLOBAL ID：201103007798256392

表面弾性波素子及びその製造方法

発明者： 吉田 綾子 ,  尾上 篤 ,  竹間 清文
出願人/特許権者： パイオニア株式会社
代理人 (1件)： 藤村 元彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-244524
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068964
特許番号：特許第3844414号
出願日： 1999年08月31日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 ペロブスカイト型構造の結晶基板と、前記結晶基板上に設けられている化学気相成長により成膜されたペロブスカイト型構造の圧電結晶薄膜と、前記圧電結晶薄膜上に設けられている表面弾性波を発生させる電極手段と、からなる表面弾性波素子であって、 前記結晶基板はSrTiO3結晶からなりかつ(001)面から<110>方向に対して-10°<θ<10°(θ≠0°)のオフセット角度θで傾斜した鏡面からなる表面を有し、 前記圧電結晶薄膜は前記傾斜した鏡面の上に成膜されておりかつ(010)面を有するKNbO3結晶からなり、 前記電極手段は表面弾性波が前記圧電結晶薄膜の結晶軸の1つの方向に沿って伝播するように並設した電極指を有する、ことを特徴とする表面弾性波素子。

IPC (2件)：

H03H 9/25 ( 200 6.01) ,  H03H 3/08 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H03H 9/25 C ,  H03H 3/08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-292646   出願人：山之内和彦, ヤマハ株式会社
• 弾性表面波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-194109   出願人：キヤノン株式会社