特許
J-GLOBAL ID：200903075746750647
弾性表面波素子
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-292646
公開番号（公開出願番号）：特開平11-191721
出願日： 1998年10月14日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：
【要約】【課題】 電気機械結合係数K2 を大きくすることにより広帯域化と高効率化が図れ、高周波帯域でも使用可能な低コストの弾性表面波素子を提供する。【解決手段】 KNbO3 に対する格子整合性を持つSrTiO3 等の単結晶バルク材料からなる下地基板12の上に、KNbO3 単結晶からなる厚さ500nm程度の圧電体層13が積層されている。そして、圧電体層13の上面にAl等の金属からなるすだれ状の入力側電極14a、出力側電極14bが形成されている。
請求項（抜粋）：
KNbO3 単結晶が成長するようなバルク材料からなる下地基板と、該下地基板上に積層されたKNbO3 単結晶からなる圧電体層と、該圧電体層の上面または下面に設けられた電極層、を有することを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/25 C
, H03H 9/145 C
