特許
J-GLOBAL ID:201103007839763164
一平面内でプラットホームを移動させる駆動装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
江崎 光史
, 三原 恒男
, 奥村 義道
, 鍛冶澤 實
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-199460
公開番号(公開出願番号):特開2000-079527
特許番号:特許第4258790号
出願日: 1999年07月13日
公開日(公表日): 2000年03月21日
請求項(抜粋):
【請求項1】2つの直交軸線(X,Z)を有する平面のあらゆる方向にプラットホーム(4)を移動させるための装置において、
2つの直交軸線の第1の軸線(X)に沿って駆動可能な第1のキャリッジ(2;3′;6′)と、
2つの直交軸線の前記の第1の軸線に沿って駆動可能な第2のキャリッジ(3;6)とを備え、
プラットホームが、第1のキャリッジに関連する第1の滑り手段(21/40;32′/41′;60′,61′/43′)と、第2のキャリッジに関連する第2の滑り手段(31/41;60,61/43)を有し、
少なくとも1個の滑り手段が直交軸線の第1の軸線に対して90°以外の角度(α,α′)で第3の軸線に沿って配置され、この第3の軸線が2つの直交軸線と同じ平面内にあることを特徴とする装置。
IPC (1件):
FI (1件):
引用特許:
出願人引用 (3件)
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6自由度ステージ機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-012994
出願人:廣瀬和也
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特開昭63-256887
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XY位置決めテーブル
公報種別:公開公報
出願番号:特願平3-271167
出願人:日本精工株式会社
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