特許
J-GLOBAL ID：201103007946453844
検査装置及び検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-015368
公開番号（公開出願番号）：特開2011-155119
出願日： 2010年01月27日
公開日（公表日）： 2011年08月11日
要約：
【課題】リソグラフィーの工程で必要とされるホットスポット検査において、広い観察面積を短時間で観察できる高解像度の検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】複数本の電子線118で試料119上を走査し、それぞれの電子線から放出される2次電子120を同一の検出器112で取り込むことで、SEM画像は複数本の電子線間の相対距離に依存した、位置がずれた画像(ゴースト画像)となる。前記相対距離を調整し、画像処理部104で位置ずれを復元することで、画素サイズが大きくても高感度なホットスポット検査装置を実現することができ、広い面積を短時間で観察できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
パターンが形成された試料の第1の領域に収束した複数本の電子線を走査させ、発生した2次電子を第1パターン画像として記憶し、該試料の該第2の領域に収束した複数本の電子線を走査させ、発生した2次電子を第2パターン画像として記憶し、該第1の領域の該第1パターン画像と該第2の領域の該第2パターン画像とを比較し、その比較結果から試料内の欠陥部を抽出する検査装置において、
該複数本の電子線の相対距離を該第2パターン画像の1画素以下の精度で調整できる機能を具備していることを特徴とした検査装置。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, H01J 37/22
, H01J 37/28
H01L21/66 J
, H01J37/22 502B
, H01J37/28 B
, H01J37/22 502H
4M106AA01
, 4M106BA02
, 4M106CA40
, 4M106CA50
, 4M106DB05
, 4M106DB30
, 4M106DJ04
, 4M106DJ06
, 4M106DJ07
, 4M106DJ15
, 4M106DJ17
, 4M106DJ18
, 4M106DJ19
, 4M106DJ39
, 5C033UU01
, 5C033UU05
, 5C033UU10
