フェーズドアレーレーザ装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：曾我道治 , 古川秀利 , 鈴木憲七 , 梶並順 , 大宅一宏 , 上田俊一 , 吉田潤一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-128438
公開番号（公開出願番号）：特開2011-254028
出願日： 2010年06月04日
公開日（公表日）： 2011年12月15日
要約：

【課題】各サブアレーでの位相差の補正と共に各サブアレーの指向角の補正さらに所望の位置への焦点調整を同一の装置により行うフェーズドアレーレーザ装置を提供する。【解決手段】基準レーザ光源の出力光をサブアレーに分岐し、サブアレーごとに増幅後、コヒーレント加算を行うフェーズドアレーレーザ装置において、前記各サブアレー毎に、前記サブアレーの1つに基づき生成された参照光とサブアレー出力光の合波光を各象限ごとに電気信号にする4象限光検出器9と、サブアレー出力光をコリメートする光学系のための並進駆動機構11と、前記4象限光検出器からの信号に基づき、参照光とサブアレー出力光の光位相差を検出しサブアレーのための光位相変調器にフィードバック制御すると共に、サブアレー出力光の指向方向誤差を検出し前記並進駆動機構にフィードバック制御するフィードバック制御手段10と、を備えた。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基準レーザ光源の出力光をサブアレーに分岐し、サブアレーごとに増幅後、コヒーレント加算を行うフェーズドアレーレーザ装置において、前記各サブアレー毎に、前記サブアレーの1つに基づき生成された参照光とサブアレー出力光の合波光を各象限ごとに電気信号にする4象限光検出器と、サブアレー出力光をコリメートする光学系のための並進駆動機構と、前記4象限光検出器からの信号に基づき、参照光とサブアレー出力光の光位相差を検出しサブアレーのための光位相変調器にフィードバック制御すると共に、サブアレー出力光の指向方向誤差を検出し前記並進駆動機構にフィードバック制御するフィードバック制御手段と、を備えたことを特徴とするフェーズドアレーレーザ装置。

IPC (4件)：

H01S 3/10 , G02F 1/01 , G02F 2/00 , G02F 2/02

FI (4件)：

H01S3/10 Z , G02F1/01 B , G02F2/00 , G02F2/02

Fターム (27件)：

2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079BA03 , 2H079CA14 , 2H079DA03 , 2H079DA08 , 2H079EA05 , 2H079FA01 , 2H079FA04 , 2H079GA04 , 2H079KA01 , 2H079KA19 , 2K002AA04 , 2K002AB12 , 2K002AB19 , 2K002BA12 , 2K002DA01 , 2K002EB15 , 2K002GA05 , 2K002HA10 , 5F172DD03 , 5F172DD06 , 5F172NN02 , 5F172NP02 , 5F172NP18 , 5F172NR02 , 5F172NR12

引用特許：

審査官引用 (4件)

コヒーレント光結合装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-105003 出願人：三菱電機株式会社
レーザー光放射器
公報種別：公開公報出願番号：特願2005-234505 出願人：三洋電機株式会社
2周波半導体レーザ光源装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-156135 出願人：日本電信電話株式会社, 株式会社トプコン, ホーヤ株式会社

全件表示

前のページに戻る