特許

J-GLOBAL ID：201103008199581788

パーフロロカーボン類測定装置

発明者： 川辺 哲也 ,  山本 明弘
出願人/特許権者： 理研計器株式会社
代理人 (1件)： 木村 勝彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-187866
公開番号（公開出願番号）：特開2001-013128
特許番号：特許第4059596号
出願日： 1999年07月01日
公開日（公表日）： 2001年01月19日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 第1の反応炉と、水スクラバー手段と、水分透過管路と、第2の反応炉と、酸性ガス検出手段とを直列に接続するともに、第1の反応炉の加熱温度をフッ素系洗浄剤の熱分解が可能で、かつパーフロロカーボン類を可及的に変性させない700乃至850°Cに、また第2の反応炉の加熱温度を前記パーフロロカーボン類が熱分解する温度Cに設定してなるパーフロロカーボン類測定装置。

IPC (2件)：

G01N 31/00 ( 200 6.01) ,  G01N 1/28 ( 200 6.01)

FI (4件)：

G01N 31/00 Y ,  G01N 31/00 Q ,  G01N 31/00 V ,  G01N 1/28 K

引用特許：

審査官引用 (2件)

• フッ素系エッチングガス又はクリーニングガスを分解する方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-267350   出願人：関東電化工業株式会社
• 有機化合物の元素組成量の測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-275708   出願人：三井造船株式会社