特許
J-GLOBAL ID:201103008231313200

切削加工装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 池内 寛幸 (外1名)
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-286258
公開番号(公開出願番号):特開2001-110758
特許番号:特許第3534338号
出願日: 1999年10月07日
公開日(公表日): 2001年04月20日
請求項(抜粋):
【請求項1】 ブレード部を有し、軸受け部の内部で回転するフランジと、前記フランジの回転時に前記軸受け部に伝わる振動を検出する振動検知装置と、前記フランジの表面に渦電流を発生させる電磁コイルとを備え、前記電磁コイルに流れる電流は前記振動検知装置が検出した振動を抑制するように制御されることを特徴とする切削加工装置。
IPC (2件):
H01L 21/301 ,  B26D 5/08
FI (2件):
B26D 5/08 B ,  H01L 21/78 F
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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