特許
J-GLOBAL ID:201103008460292225

多層プリント配線板と、その層間ズレの測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 脇 篤夫
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-344593
公開番号(公開出願番号):特開2001-168537
特許番号:特許第3853124号
出願日: 1999年12月03日
公開日(公表日): 2001年06月22日
請求項(抜粋):
【請求項1】絶縁基板を介して複数枚の両面プリント配線板を積層した多層プリント配線板において、 前記両面プリント配線板の導体層に形成され、輪郭線の内側が明部とされる中空ガイドマークと、 前記中空ガイドマークに板厚方向に隣接する両面プリント配線板の導体層に形成され、輪郭線の内側に暗部を有する中実ガイドマークとを1組のガイドマークとして、 前記1組のガイドマークを、X線を用いて前記多層プリント配線板の板厚方向に透視して観測する観測装置の受像範囲内に収まる大きさで互いに重ならないように前記両面プリント配線板の導体層の所定の位置に複数組形成し、 前記1組のガイドマークは、前記多層プリント配線板をX線を用いて板厚方向に透視したとき、前記中空ガイドマークの内側の輪郭線と、前記中実ガイドマークの外側の輪郭線が接触しない形状とすると共に、前記複数組のガイドマークには前記絶縁基板を介して前記中空ガイドマークと中実ガイドマークが対峙する少なくとも1組のガイドマークが含まれていることを特徴とする多層プリント配線板。
IPC (3件):
H05K 3/46 ( 200 6.01) ,  H05K 1/02 ( 200 6.01) ,  H05K 3/00 ( 200 6.01)
FI (3件):
H05K 3/46 G ,  H05K 1/02 R ,  H05K 3/00 P
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (5件)
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