特許

J-GLOBAL ID：201103008579153843

オゾン生成装置

発明者： 井藤 浩志 ,  村上 寛 ,  花倉 満 ,  宮本 正春 ,  森川 良樹 ,  大石 和城 ,  西口 哲也
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所 ,  株式会社明電舎
代理人 (3件)： 橋本 剛 ,  鵜澤 英久 ,  橋本 剛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-318031
公開番号（公開出願番号）：特開2001-139307
特許番号：特許第3964082号
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】オゾンガス発生装置によってオゾン含有ガスを発生してオゾンチャンバーに導入し、冷凍機によって前記オゾンチャンバー内部を冷却することにより前記オゾンチャンバー内に液化オゾンを生成し、オゾンキラーと真空ポンプを有するオゾン排気装置によって前記チャンバー内で液化されなかったオゾンガスおよび酸素ガスを排気できるオゾン生成装置において、 前記冷凍機が温度制御能力を喪失したときに前記オゾン排気装置を強制運転し、前記オゾンチャンバー内がオゾンの爆発温度になる前に該オゾンチャンバー内のオゾン含有ガスおよび液化オゾンを排気させる爆発防止手段を備えたことを特徴とするオゾン生成装置。

IPC (2件)：

C01B 13/10 ( 200 6.01) ,  F17C 13/12 ( 200 6.01)

FI (2件)：

C01B 13/10 Z ,  F17C 13/12 302 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特公平5-017164
  
• 特開昭55-067506
  
• オゾン製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-198436   出願人：三菱電機株式会社