特許
J-GLOBAL ID：201103008763486197
コーティング工具用固体潤滑膜の製造法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
河内 潤二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-334812
公開番号（公開出願番号）：特開2000-233324
特許番号：特許第3666640号
出願日： 1999年11月25日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 ドリル、エンドミル及びタップを含む工具に使用される工具鋼、高速度工具鋼、超硬合金、サ-メット又はセラミックを母材とした工具上に TiN,TiCN,TiAlN,Al2O3 のうちの1もしくはこれらの組合せを含む硬質物質をコーティングしたコーティング工具上に、以下の条件を満たす潤滑膜を形成することを特徴とするコーティング工具用固体潤滑膜の製造法、 (a).Si,Zr,Ni,Fe,Co及びCrのうちの一種または二種以上の金属 Mに対して主として酸素が主成分となる酸化物( MOx : 0.2 ≦ x<2 )としてコーティング工具上に成膜し、 (b).成膜する厚さ t は、 0.01≦ t < 2.0 (μm)であり、そして、 (c).これらの酸化物の膜は、 150°C 以上 450°C 未満に加熱され、物理蒸着法特にイオンプレーティングにより形成され、成膜バイアスは -15 V 〜 -1000 Vの直流印加方式、もしくは-15 V 〜 -1000 V相当の実効バイアスが得られる高周波交流電流印加方式、によって成膜する。
IPC (3件)：
B23P 15/28
, B23B 27/14
, C23C 14/06
B23P 15/28 A
, B23B 27/14 A
, C23C 14/06 P
