特許

J-GLOBAL ID：201103008812952921

廃液の分離方法

発明者： 前野 純一 ,  川上 修吾 ,  後藤 和志
出願人/特許権者： 荒川化学工業株式会社
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-150803
公開番号（公開出願番号）：特開2000-334475
特許番号：特許第4399855号
出願日： 1999年05月31日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (1)砥粒、(2)アミン類、および(3)油脂類を含有する加工処理液の供給下に、ワークブロックを切断処理した際に生じる、(4)ワークブロック切粉を含有する加工処理廃液に、(2)アミン類を中和しうる酸性物質として有機酸を含有してなる分離剤を加え、攪拌後、静置することにより加工処理廃液に含まれる(1)砥粒、(3)油脂類および(4)ワークブロック切粉をそれぞれに層分離させることを特徴とする加工処理廃液の分離方法。

IPC (2件)：

C02F 1/66 ( 200 6.01) ,  H01L 21/304 ( 200 6.01)

FI (5件)：

C02F 1/66 510 R ,  C02F 1/66 ZAB ,  C02F 1/66 522 F ,  C02F 1/66 540 Z ,  H01L 21/304 648 F

引用特許：

出願人引用 (6件)

• 特定アミン類を含む廃液の処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-311234   出願人：東亞合成株式会社
• 特開昭48-023073
  
• シリコンの回収方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-124023   出願人：日本電気株式会社, 鶴見實
• 特開昭51-062145
  
• 特開昭48-023073
  
• 特開昭52-119605
  

審査官引用 (2件)

• 特開昭48-023073
  
• 特定アミン類を含む廃液の処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-311234   出願人：東亞合成株式会社