特許
J-GLOBAL ID：201103008849639727

基板搬送台車及び基板搬送システム

発明者：
宮園 直之

宮園 直之 について

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中島 洋一郎

中島 洋一郎 について

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大坪 栄一郎

大坪 栄一郎 について

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笹川 英四郎

笹川 英四郎 について


出願人/特許権者：
三菱重工業株式会社

三菱重工業株式会社 について


代理人 (7件)： 工藤 実 ,  中尾 圭策 ,  鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎 ,  河野 哲 ,  風間 鉄也
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-335803
公開番号（公開出願番号）：特開2003-137427
特許番号：特許第3913038号
出願日： 2001年10月31日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 軌条に沿って走行可能な本体フレームと、 前記本体フレーム上において基板を斜め直立姿勢で支持するとともに、基板を保持するための複数の保持爪を有する複数の支持アームと を具備し、 前記軌条は、真空処理室の出入口をまたいで延伸し、 本基板搬送台車から基板が受け渡される他部材は、前記真空処理室内に設けられ、 前記保持爪は、 基板の外周端縁部に当接して基板を保持する先端部と、前記支持アームに固定される固定部と、前記先端部から前記固定部までに設けられ、弾性撓み変形が可能な可撓部とを具備する押え板ばねであり、 基板の受け渡し時において、 前記保持爪は、前記支持アームと前記他部材との間に基板が位置し、前記固定部及び前記可撓部が基板に対して前記支持アームと同じ側に位置し、且つ、前記先端部が前記他部材と同じ側の基板面側に突出した状態で基板の揺れ動きを抑制するように基板を保持し、 前記他部材が基板の方に移動して前記先端部に当接することにより、前記可撓部が変位して前記保持爪による基板の拘束が解除される 基板搬送台車。
IPC (7件)：
B65G 49/06 ( 200 6.01) ,  B61B 13/00 ( 200 6.01) ,  B61B 13/02 ( 200 6.01) ,  B61D 27/00 ( 200 6.01) ,  B61F 5/06 ( 200 6.01) ,  B61F 5/24 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01)
FI (10件)：
B65G 49/06 Z ,  B61B 13/00 A ,  B61B 13/02 C ,  B61D 27/00 S ,  B61F 5/06 ,  B61F 5/24 A ,  B61F 5/24 B ,  B61F 5/24 C ,  B61F 5/24 F ,  H01L 21/68 A
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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