レーザ超音波を用いた表面欠陥監視方法及び表面欠陥監視装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村瀬一美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-050495
公開番号（公開出願番号）：特開2011-185706
出願日： 2010年03月08日
公開日（公表日）： 2011年09月22日
要約：

【課題】監視対象物の温度が変化しても表面欠陥の深さの変化を正確に検出する。【解決手段】基準温度Trにおいて監視対象物2の表面に励起用パルスレーザ光3を照射して表面欠陥1を迂回して伝播する迂回波4と表面欠陥1が無い部分を伝播する参照波5を励起させると共に、レーザ干渉計7によって迂回波4と参照波5による表面変位を検出して伝播時間t1(Tr),t2(Tr)を測定する準備工程(ステップS31)と、準備工程と同じ位置で迂回波4と参照波5を励起させてそれらの伝播時間t1(T),t2(T)を測定する測定工程(ステップS32)と、t2(T)をt2(Tr)で除して補正係数f(T)を求める補正係数算出工程(ステップS33)と、t1(T)にf(T)を乗じて補正伝播時間t1aを求める補正工程(ステップS34)と、t1aとt1(Tr)との時間差Δtを求め、求めた時間差Δtに基づいて表面欠陥1の深さaの変化を検出する検出工程(ステップS35)とを備えている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

表面欠陥が存在する監視対象物について、基準温度Trにおいて前記監視対象物の表面に励起用パルスレーザ光を照射して前記表面欠陥を迂回して伝播する第1の表面波と前記表面欠陥が無い部分を伝播する第2の表面波を励起させると共に、レーザ干渉計によって前記第1の表面波と前記第2の表面波による前記監視対象物の表面変位を検出して前記第1の表面波の伝播時間t1(Tr)と前記第2の表面波の伝播時間伝播時間t2(Tr)を測定する準備工程と、前記準備工程での測定と同じ位置で温度Tにおいて前記第1の表面波と前記第2の表面波を励起させてそれらの伝播時間t1(T),t2(T)を測定する測定工程と、前記伝播時間t2(T)を前記伝播時間t2(Tr)で除して補正係数f(T)を求める補正係数算出工程と、前記伝播時間t1(T)に前記補正係数f(T)を乗じて補正伝播時間t1aを求める補正工程と、前記補正伝播時間t1aと前記伝播時間t1(Tr)との時間差Δtを求め、求めた時間差Δtに基づいて前記表面欠陥の深さaの変化を検出する検出工程とを備えることを特徴とするレーザ超音波を用いた表面欠陥監視方法。

IPC (2件)：

G01N 29/00 , G01N 29/44

FI (2件)：

G01N29/00 501 , G01N29/22 504

Fターム (10件)：

2G047BA03 , 2G047BC02 , 2G047BC08 , 2G047BC10 , 2G047CA04 , 2G047CB03 , 2G047EA10 , 2G047GD01 , 2G047GG30 , 2G047GG43

引用特許：

審査官引用 (4件)

表面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-351440 出願人：株式会社東芝, 東芝エンジニアリング株式会社
超音波探傷装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-298069 出願人：日立建機株式会社
特開平4-339252

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