特許
J-GLOBAL ID:201103009167273573
カーボンナノチューブの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
,
代理人 (3件):
山川 政樹
, 黒川 弘朗
, 山川 茂樹
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-037001
公開番号(公開出願番号):特開2011-173739
出願日: 2010年02月23日
公開日(公表日): 2011年09月08日
要約:
【課題】触媒金属を用いることなく、フラーレンを利用したカーボンナノチューブの成長ができるようにする。【解決手段】基板101の上にフラーレン102を配置する。次に、基板101を酸素が含まれている雰囲気で加熱し、この処理が行われた前処理済みフラーレン103が、基板101の上に配置された状態とする。この加熱工程では、酸素が含まれている雰囲気による加熱で、フラーレン102の重量が減少し始める温度より高く、フラーレン102が消失する温度より低い温度範囲で加熱する。この後、加熱した基板101の上に原料ガスを導入してカーボンナノチューブの成長を行う。【選択図】 図1B
請求項(抜粋):
基板の上にフラーレンを配置する第1工程と、
前記基板を酸素が含まれている雰囲気で加熱する第2工程と、
加熱した前記基板の上に原料ガスを導入して前記基板の上にカーボンナノチューブを形成する第3工程と
を少なくとも備え、
前記第2工程では、酸素が含まれている雰囲気による加熱で、前記フラーレンの重量が減少し始める温度より高く、前記フラーレンが消失する温度より低い温度範囲で加熱することを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (18件):
4G146AA11
, 4G146AA19
, 4G146AB07
, 4G146AD28
, 4G146BA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB06
, 4G146BB12
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC23
, 4G146BC27
, 4G146BC33A
, 4G146BC33B
, 4G146BC37B
, 4G146BC38B
, 4G146CB33
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