特許

J-GLOBAL ID：201103009353950526

カラーフィルタの製造方法およびそれに用いる露光方法

発明者： 高木 利晃 ,  鈴木 悦也
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社 ,  株式会社トプコン
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-204379
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033617
特許番号：特許第3816274号
出願日： 1999年07月19日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 透明基板上に3原色のカラーフィルタ層を順次パターン形成する液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法において、フィルタ部の形成に用いる1色の着色レジストにて形成した外周部アライメントマーカーを、他の色のフィルタの形成時に画像処理にて検出し、マスク上のアライメントマーカーとの間で位置合わせする際、アライメント用の光源に特定波長範囲をカットする色フィルタを設置することにより読み取り部位間の透過光量比を高めて認識性能を向上させることを特徴とするカラーフィルタの製造方法であって、前記1色の着色レジストにて形成した外周部アライメントマーカーの着色レジストは、前記画像処理での検出に使用する波長範囲以外でも透過率が高い分光分布を示すレジストであるカラーフィルタの製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 ( 200 6.01) ,  G02F 1/1335 ( 200 6.01) ,  G03F 9/00 ( 200 6.01)

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/133 505 ,  G03F 9/00 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 露光処理用自動位置合わせ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-355287   出願人：ソニー株式会社
• 眼鏡レンズの補助マーク印刷装置および補助マーク印刷方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-092602   出願人：セイコーエプソン株式会社