マスク治具の洗浄方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：八木秀人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281964
公開番号（公開出願番号）：特開2001-104895
特許番号：特許第3854435号
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】塗料によって塗膜形成を行う部材の非塗装面を被覆するために繰り返し使用されるマスク治具を収容し、該マスク治具を回転させながら、該マスク治具の少なくとも上方から洗浄液を吹き付けて洗浄する装置で、前記洗浄液は、前記装置上方から垂設された洗浄液輸送中央パイプから側方へ放射状に延設された複数の分岐パイプのそれぞれに複数並設されてなる一対のノズルから下方側に配置されて回転する前記マスク治具に向けて吹き付けられる構成であって、前記一対のノズルは、正面視、側面視とともに、下方に向けてハの字状に広がる形状となるように、前記分岐パイプに配設されたマスク治具洗浄装置を用いて、屈曲形成されたエッジ部分が設けられた前記マスク治具を洗浄液で洗浄する方法であって、少なくとも、次の(ア)、(イ)の工程を含むことを特徴とするマスク治具洗浄方法。 (ア)界面活性剤を溶解する前記洗浄液を前記マスク治具に吹き付けて、該マスク治具表面に前記界面活性剤膜を形成する剥離膜形成工程。 (イ)前記剥離膜形成工程に続いて行われる塗装工程後に、前記洗浄液を前記マスク治具に吹き付けて、該マスク治具に付着した前記塗料を前記界面活性剤膜とともに洗い落とす洗浄工程。

IPC (3件)：

B08B 3/04 ( 200 6.01) , B08B 3/08 ( 200 6.01) , B05D 1/32 ( 200 6.01)

FI (3件)：

B08B 3/04 A , B08B 3/08 A , B05D 1/32 E

引用特許：

出願人引用 (6件)

硬化前塗膜剥離用水性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-269468 出願人：株式会社ネオス
薄膜の除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166512 出願人：旭硝子株式会社
特開昭49-101424

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審査官引用 (6件)

硬化前塗膜剥離用水性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-269468 出願人：株式会社ネオス
薄膜の除去方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-166512 出願人：旭硝子株式会社
特開昭49-101424

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