特許

J-GLOBAL ID：201103009694540458

ロボットアームのたわみ補正装置

発明者： 佐野 正俊 ,  毛笠 佳典 ,  吉田 雅也
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 西教 圭一郎 (外3名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170266
公開番号（公開出願番号）：特開2001-001282
特許番号：特許第3170493号
出願日： 1999年06月16日
公開日（公表日）： 2001年01月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 (a)前後軸xに伸縮可能な一方のアームA1と、(b)一方のアームA1の上方で、前後軸xに伸縮可能な他方のアームA2と、(c)一方のアームA1の基端部に設けられ、その一方のアームA1を伸縮駆動する第1の駆動源11と、(d)他方のアームA2の基端部に設けられ、その他方のアームA2を伸縮駆動し、第1の駆動源11と隣接して配置される第2の駆動源16と、(e)第1および第2駆動源11,16が最上部5に設けられ、その最上部5を、上下軸zに沿って望遠鏡式に昇降駆動する上下駆動手段4と、(f)一方のアームA1の前後軸xに沿う位置を検出する第1エンコーダ27と、(g)他方のアームA2の前後軸xに沿う位置を検出する第2エンコーダ28と、(h)上下駆動手段4の上下軸zに沿う上下の位置を検出する第3エンコーダ26と、(i)メモリ31であって、一方のアームA1の遊端部21の前後軸xに沿う位置に対応した前後軸zに沿う被搬送物の重量による第1たわみ量Δz1と、他方のアームA2の遊端部22の前後軸xに沿う位置に対応した上下軸zに沿う被搬送物の重量による第2たわみ量Δz2とをストアするメモリ31と、(j)処理回路29であって、予め定める場所に載置された被搬送物を、前記一方のアームA1または前記他方のアームA2のいずれか一方が載置位置まで前進して上昇して被搬送物を把持した後、予め被搬送物を把持していた前記一方のアームA1または前記他方のアームA2のいずれか他方が前記載置位置に前進を開始すると同時に前記いずれか一方が後退を開始し、両アームA1,A2の動作完了後、下降して載置する動作を、繰返し、第1、第2および第3エンコーダ27,28,26の出力に応答し、第1エンコーダ27によって検出された一方のアームA1の前後軸xに沿う位置に対応してメモリ31にストアされている第1たわみ量Δz1と、第2エンコーダ28によって検出された他方のアームA2の前後軸xに沿う位置に対応してメモリ31にストアされている第2たわみ量Δz2とを読出し、第1および第2たわみ量Δz1,Δz2のうち、最大値を選択し、この最大値を用いて、上下駆動手段4の最上部5を昇降変位させることによって、最大値のたわみ量(Δz1またはΔz2)を有する前記一方または他方のアーム(A1またはA2)の遊端部(21または22)を希望する指令値の高さに保つ処理回路29とを含むことを特徴とするロボットアームのたわみ補正装置。

IPC (2件)：

B25J 9/10 ,  B25J 9/06

FI (2件)：

B25J 9/10 A ,  B25J 9/06 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-054953   出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社
• 特開昭57-069315