特許
J-GLOBAL ID:201103009703737685

転写ヘッドのクリーニング装置及び方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 仁科 勝史
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-177525
公開番号(公開出願番号):特開2001-007136
特許番号:特許第4029374号
出願日: 1999年06月23日
公開日(公表日): 2001年01月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 下面に形成された多数の転写突起にフラックスを供給してワークにフラックスを転写する転写ヘッドと、転写ヘッドの下面と平行で、転写ヘッドの下面の多数の転写突起が形成された転写領域より大きな保持面にフラックス吸収材を取り外し自在に配置したクリーニング部と、クリーニング部と転写ヘッドの下面の位置合わせ及び接触のための駆動手段と、荷重制御を伴いながらクリーニング部に転写ヘッドを押し付けるクリーニング動作を指令する制御手段とを有することを特徴とする転写ヘッドのクリーニング装置。
IPC (2件):
H01L 21/60 ( 200 6.01) ,  H05K 3/34 ( 200 6.01)
FI (3件):
H01L 21/92 604 G ,  H05K 3/34 503 Z ,  H05K 3/34 505 A
引用特許:
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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