ペリクル粘着層保護用ライナーおよびこれを具備するペリクル

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：好宮幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058043
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258896
特許番号：特許第3601996号
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ライナー位置決め貼り付け装置の光源から照射される光の光線透過率が1.0%以上であり、ペリクル膜上の異物を検査する際の検査光(ハロゲンランプ)照射による光線透過率が85%以下であることを特徴とするペリクル粘着層保護用ライナー。

IPC (2件)：