特許
J-GLOBAL ID：201103010373081360
高能率切削で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
富田 和夫
, 鴨井 久太郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-218826
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038504
特許番号：特許第3994590号
出願日： 1999年08月02日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 炭化タングステン基超硬合金基体の表面に、
(a)それぞれ0.1〜20μmの平均層厚を有し、かつ、Tiの炭化物層、窒化物層、酸化物層、炭窒化物層、炭酸化物層、窒酸化物層、および炭窒酸化物層のうちの1種または2種以上からなるTi化合物層で構成された下部層、
(b)1〜15μmの平均層厚を有し、かつ酸化アルミニウムの素地に、酸化アルミニウムとの合量に占める割合で、0.1〜10重量%の酸化ジルコニウムが分散相として分布した組織を有する酸化アルミニウム主体層で構成された中間層、
(c)まず、反応ガス組成を、体積%で、
TiCl4:0.2〜10%、
CO2:0.1〜10%、
Ar:5〜60%、
H2:残り、
とし、かつ、
反応雰囲気温度:800〜1100°C、
反応雰囲気圧力:30〜500torr、
とした条件で、0.1〜3μmの平均層厚を有し、かつ、オージェ分光分析装置で測定して、Tiに対する酸素の割合が原子比で1.60〜1.90、すなわち、
組成式:TiOW、
で表わした場合、
W:Tiに対する原子比で1.60〜1.90、
を満足するTi酸化物層を形成し、このTi酸化物層の上に、
反応ガス組成を、体積%で、
TiCl4:0.2〜10%、
N2:4〜60%、
H2:残り、
とし、かつ、
反応雰囲気温度:800〜1100°C、
反応雰囲気圧力:30〜650torr、
とした条件で、0.05〜2μmの平均層厚を有する窒化チタニウム層を形成し、もって前記窒化チタニウム層形成時に上記Ti酸化物層の酸素を拡散せしめることにより形成された、
(c-1)0.1〜3μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:TiOX 、
で表わした場合、厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、
X:Tiに対する原子比で1.37〜1.7、
を満足するTi酸化物層からなる最表面下地層と、
(c-2)0.05〜2μmの平均層厚を有し、かつ、
組成式:TiN1-Y(O)Y、
で表わした場合(ただし、(O)は上記最表面下地層からの拡散酸素を示す)、同じく厚さ方向中央部をオージェ分光分析装置で測定して、
Y:Tiに対する原子比で0.08〜0.4、
を満足するTi窒酸化物層からなる最表面層、
以上(c-1)および(c-2)で構成された上部層、
上記の下部層、中間層、および上部層からなる硬質被覆層を3〜35μmの全体平均層厚で化学蒸着したこと、を特徴とする高能率切削で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具。
IPC (4件)：
B23B 27/14 ( 200 6.01)
, B23P 15/28 ( 200 6.01)
, C23C 14/06 ( 200 6.01)
, C23C 16/30 ( 200 6.01)
B23B 27/14 A
, B23P 15/28 A
, C23C 14/06 P
, C23C 16/30
